Inline晶（jīng）圓測（cè）試（shì）是指在晶圓的不同加工製造工序中間穿插光電參數表征，對（duì）產品在（zài）不同工序如CT、M1、M2等節點後的性能（néng）進行（háng）測量，這也是監控半導體產品（pǐn）量產質（zhì）量的關鍵步驟之一，對於提前識別工藝不良、提（tí）高生產效率以及降低產品製造成本具有重要（yào）意義（yì）。

Inline晶圓測試機台需要嚴（yán）格遵循Fab無塵室等級管控對線上生（shēng）產裝備的要求，在設計inline晶圓（yuán）台（tái）時，需要特別（bié）注意以下幾點，以確保其高效、穩定地運行：

01穩定性

穩定（dìng）性要求高，以減少因（yīn）振動或外部幹擾導致的加工誤（wù）差。

02材料選擇

選擇具有足夠機械強度、熱穩（wěn）定性和化學（xué）惰性的材料（liào），如（rú）不鏽鋼、陶瓷或特殊合金（jīn）。考慮材料對高溫、腐蝕等惡劣環（huán）境的承受能（néng）力，確保晶圓台的使用壽命和可靠性。

03熱管理

確保工件台有良好的熱傳導性（xìng）能，以保持晶圓溫度均勻一致。工件台本身要能快速響應溫度變化，避免因熱膨脹而影響精度。

04電磁兼容性

在某些半導體製造過程中，如離（lí）子植入或（huò）電子束曝光，需要考慮電磁屏蔽，以防止電（diàn）磁場對晶圓台造成幹擾（rǎo）。

05真空兼容性

如果製造過程需要在高真空環境中進（jìn）行，晶圓台必須能夠（gòu）適應這種環境，不（bú）產生氣體釋放。在高真空環境下，晶圓（yuán）台需（xū）要保持良好的機械性能和穩定性。

06傳輸機製

設（shè）計時需要考慮與其他機械部分的接口，如傳（chuán）輸手臂或自動裝載係統。確保晶圓台具有高精度的定位能力和可靠的機械連接和（hé）傳輸機（jī）製。

07清潔與維護

設計應（yīng）便於清潔和維護，以減少顆粒物和化學物質的汙染風險。可以采用易於拆卸的部（bù）件和抗汙染塗層等技術（shù）來減少汙染。

08傳感器集（jí）成

為了實現精（jīng）確的控製和監測，可能需要集成（chéng）各（gè）種傳感器，如溫度傳感器、位置傳感器和壓力傳感器等。這些（xiē）傳（chuán）感器的數據可以用於實時監控和調整製造過程，確保最終產品的（de）質量。

09自動化與集成（chéng）

Inline晶圓台需要與（yǔ）整個生（shēng）產線高度（dù）集成，實現自動化（huà）操作，以減（jiǎn）少人為因素的影（yǐng）響（xiǎng），並提高生產效率。可以考（kǎo）慮采用先進的自（zì）動化技術，如機器視覺、機器人技術等，來提高晶圓台的自動化水平。

10安全性與可靠性

在設計過程中，需要充分考慮晶圓台的安全性和可靠性，確保在緊急情況下能夠迅速停機並保護晶圓不受損害。可以（yǐ）采用冗餘設計、備份係統等措施來提高晶圓台的（de）安全性和可靠性（xìng）。

蘑菇视频解決方案 ：

蘑菇视频晶圓測試係統除了傳統的高低溫（wēn）以（yǐ）及高精（jīng）度（dù）的自動化測試能力，目（mù）前也已經具備了晶圓級端麵耦合、RF測試以及單die的調測能力，測試範（fàn）圍覆蓋OO/OE/EE/RF等，具體（tǐ）介紹如下：

1. 升級全行程更高定位精度與重複定位精（jīng）度

2. 配置溫度傳感器，持續監控Stage溫度變化

3. 增加傳感器監測晶圓吸附狀態（2~12inch兼容）

4. 升級頂部視覺倍率與分辨率，並支持一鍵切換倍率

5. 升級輔助視覺，可清晰觀察光纖/探針與晶圓（yuán）間相對高度

6. 可選配實時探高功能

7. 全新架構（gòu）軟件，Prober與Tester分離，Tester支持異步數據處理，實現（xiàn）快速測試（shì）

8. 可支持選擇帶圖像補償（cháng）功能的自（zì）動化測試，進一步提高定位精度

9. 支持自定義高度采樣點，全盤掃高速度5分鍾以內

10. 大幅度提高（gāo）耦合速度

11. 增加自動調整FA角度，提升FA校準效率

12. 支持同種功能的儀表快速切換

13. 耦合重複性：0.2dB@50次、0.3dB@2000次   

14. 耦合穩定性（xìng）：0.2dB@5min、0.3dB@15min

產品特點：

1. 采用機械手臂傳輸晶（jīng）圓，減少人手動誤（wù）操作及橡膠手（shǒu）套對晶圓的汙染

2. 采用陶瓷托盤，保證（zhèng）熱穩定性及材料化學惰性

3. 具備OO/OE/EE等測試能力

4. 測試項目和測試範圍靈活可配置（zhì），成熟測（cè）試方案一（yī）鍵導（dǎo）入

5. 可定製產品數據庫，自動生成報（bào）表

6. 可接入MES係統

7. 無人值守，遠程可控製

總結：

Inline晶圓台的設計需（xū）要綜合考慮平整度、穩（wěn）定性、材料選擇、熱管理、電磁兼容性、真空（kōng）兼容性、傳輸機製、清潔與維護、傳（chuán）感器集成、自動化與集成以及安全性與（yǔ）可靠性等多個方麵，以確保（bǎo）其高效、穩定地運行，並滿足半導體製造的需（xū）求。

企業簡介：

武漢（hàn）蘑菇视频科技有（yǒu）限公司專注於第三代半導體&矽（guī）光封測設備，團隊擁有成熟（shú）的量產級半導體（tǐ）封測（cè）裝備開發和應用經驗（yàn），具備整機係統創新研發能力以（yǐ）及核心部件國產化（huà）研發能力；公司致力於成為該領域優秀企業。客戶群目前覆蓋多家國內外（wài）知名企業，並在設備性能、服務等各方麵獲得高度認可。驛（yì）天諾將不斷深耕第（dì）三代半導體&矽光裝備與核心關鍵技術，以客戶需求為導向，與（yǔ）客戶攜手並進，共同開拓產業發展藍圖。