WAT-226 高（gāo）功率晶圓測試係統

WAT-226高功率晶圓測試係統采用密閉腔體形式，將（jiāng）運動構（gòu）件、製熱構件、製冷構件以及測試使用的晶圓卡盤、探針台、探針臂等部件集中（zhōng）在密閉腔體中，構建安全、穩定的功率器件晶圓級測試環境，滿足高溫、低溫、高壓、高流等（děng）極（jí）端條件（jiàn）的（de）安全測試要求，保護器件不（bú）被氧化、結露、結霜（shuāng）、電弧（hú）擊穿等物理破壞及汙染。