WAT-226 高功率晶圓（yuán）測試係統

WAT-226高功率（lǜ）晶（jīng）圓測試係統采用密（mì）閉腔體形式，將運動構件（jiàn）、製熱構件、製冷構件（jiàn）以及測試使用的晶圓卡盤、探針台、探針臂（bì）等部件集中在密閉腔體中，構（gòu）建安全、穩定的（de）功率器件晶圓級測試環境（jìng），滿足高溫、低溫、高壓、高流等極端條（tiáo）件的安全測試要求，保護器件不被氧化、結露、結霜、電弧擊穿等物理破壞及汙染。