產品應用

Inline晶圓台的設計（jì）需要綜合（hé）考慮平整度、穩（wěn）定性、材料（liào）選擇、熱管理、電磁兼（jiān）容（róng）性、真（zhēn）空兼容性、傳輸機製、清潔與（yǔ）維護、傳感器集成、自動化與集（jí）成以及安全性（xìng）與可靠性（xìng）等多個方麵，以確保其高（gāo）效、穩（wěn）定地運行，並滿足半導（dǎo）體製造的需求。